1. Исследования
  2. Публикации
  3. Effect of electron beam irradiation on thin metal films on glass surfaces in a submicrometer scale

Effect of electron beam irradiation on thin metal films on glass surfaces in a submicrometer scale

DOI
10.1117/1.JMM.15.1.013502
Имя журнала
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS
Accepted
Published
Type
Journal Article
Список авторов
Filipp Komissarenko
Ivan Mukhin
A.O. Golubok
N.V. Nikonorov
M.A. Prosnikov
A.I. Sidorov
Импакт-фактор журнала
1.335
SJR журнала
0.426
Volume
15
Страницы
013502-01350
URL статьи
http://dx.doi.org/10.1117/1.JMM.15.1.013502
Дата публикации