Первая часть доклада будет посвящена
- электронной, ионной и оптической литографии;
- упорядоченному формированию массивов металл-углеродных нановискеров;
- технологиям нанесения тонких пленок металлов и диэлектриков;
- технологии сфокусированного ионного пучка.
Вторая часть доклада будет посвящена доступным измерительным методикам, реализуемым при помощи зондовой установки, таким как
- атомно-силовая микроскопия;
- сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия;
- конфокальная спектроскопия.
Кроме того, будут представлены научные проекты, над которыми в данный момент ведется работа, а также промежуточные результаты по этим проектам.
- электронной, ионной и оптической литографии;
- упорядоченному формированию массивов металл-углеродных нановискеров;
- технологиям нанесения тонких пленок металлов и диэлектриков;
- технологии сфокусированного ионного пучка.
Вторая часть доклада будет посвящена доступным измерительным методикам, реализуемым при помощи зондовой установки, таким как
- атомно-силовая микроскопия;
- сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия;
- конфокальная спектроскопия.
Кроме того, будут представлены научные проекты, над которыми в данный момент ведется работа, а также промежуточные результаты по этим проектам.