Журнал: NAUCHNOE PRIBOROSTROENIE

Статьи

Impact Factor

Scientific Journal Ranking

2019

1.
CREATION OF MICRO-AND NANOCHANNELS ON THE SURFACE OF SILICON CHIPS BY OPTICAL AND ION LITHOGRAPHY METHODS
D. V. Lebedev
A. M. Mozharov
Филипп Комиссаренко
Виталий Школдин
Alexander O. Golubok
A.S. Bukatin
A A Evstrapov
Иван Мухин
NAUCHNOE PRIBOROSTROENIE
 , vol.
29
 , pp.
57-61
 , 2019
[DOI:
10.18358/np-29-4-i5761
 ]